Method for producing sputtering target, and sputtering target

WO2012017659 Art A1 9. Februar 2012

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012017659
Aktenzeichen
EP11814294
Anmeldetag
4. August 2011
Veröffentlichung
9. Februar 2012
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C04B35/00C04B35/453
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsubishi Materials Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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