Systems, methods and apparatus for choked flow element extraction

WO2012018365 Art A2 9. Februar 2012

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012018365
Aktenzeichen: EP11814886
Anmeldetag: 30. Juni 2011
Veröffentlichung: 9. Februar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01J61/28H05B31/26G05B13/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von