Three-friction piezoelectric stepper pushed by nested dual piezoelectric tubes and stepping scanner

WO2012019477 Art A1 16. Februar 2012

Anmelder: University of Science and Technology of China 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012019477
Aktenzeichen: EP11816036
Anmeldetag: 26. Mai 2011
Veröffentlichung: 16. Februar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Science and Technology of China
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 University of Science and Technology of China

Die University of Science and Technology of China (USTC) ist eine chinesische Forschungsuniversität mit Sitz in Hefei. Das Patentportfolio verteilt sich breit auf Software und Datenverarbeitung, Nachrichtentechnik, Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiter- und Medizintechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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