Radiation sensitive composition and novel compound

WO2012020627 Art A1 16. Februar 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012020627
Aktenzeichen
EP11816293
Anmeldetag
20. Juli 2011
Veröffentlichung
16. Februar 2012
Rechtsraum
WO
IPC
C07C309/17C07C381/12C08F12/04C08F20/10C08F20/56G03F7/004G03F7/039H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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