Electrostatic chuck and production method thereof

WO2012020832 Art A1 16. Februar 2012

Anmelder: Toto Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012020832
Aktenzeichen: EP11816494
Anmeldetag: 11. August 2011
Veröffentlichung: 16. Februar 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683B23Q3/15H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Toto Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 TOTO

TOTO ist ein japanischer Hersteller von Sanitärkeramik und Badtechnik, bekannt für Toilettensysteme wie Washlet. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Straßen-, Wasser- und Tiefbau sowie Halbleiter- und Werkstofftechnik, ergänzt durch Haushalts- und Konsumgüter. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2026.

601 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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