Aberrationskorrigiertes Mikroskop

WO2012025349 Art A1 1. März 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012025349
Aktenzeichen: EP11738730
Anmeldetag: 2. August 2011
Veröffentlichung: 1. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G02B27/00G02B21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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