Carrier for a substrate and a method for assembling the same

WO2012025484 Art A1 1. März 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012025484
Aktenzeichen
EP11745988
Anmeldetag
22. August 2011
Veröffentlichung
1. März 2012
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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