Water-reactive al composite material, water-reactive thermally sprayed al film, process for production of thermally sprayed al film, and structural member for film-forming chamber
WO2012026349
Art A1
1. März 2012
Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012026349
- Aktenzeichen
- EP11819813
- Anmeldetag
- 12. August 2011
- Veröffentlichung
- 1. März 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C4/06C22C21/00C23C14/00C23C16/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, INC.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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