Electrostatic chuck apparatus and method for manufacturing same

WO2012026421 Art A1 1. März 2012

Anmelder: Creative Technology Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012026421
Aktenzeichen: EP11819884
Anmeldetag: 22. August 2011
Veröffentlichung: 1. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683B23Q3/15H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Creative Technology Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇸🇬 Creative Technology

Creative Technology ist ein Elektronikkonzern aus Singapur, bekannt für Audio- und Multimedia-Produkte wie Sound Blaster. Der Patentbestand liegt vor allem in Nachrichtentechnik, Software sowie Akustik- und Datenspeichertechnik, ergänzt um Halbleiterbauelemente. Die Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

314 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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