Vacuum chamber assembly for supporting a workpiece

WO2012027406 Art A2 1. März 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012027406
Aktenzeichen: EP11820549
Anmeldetag: 23. August 2011
Veröffentlichung: 1. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: B05C15/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.282 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von