Surface treatment method for germanium-based part

WO2012027987 Art A1 8. März 2012

Anmelder: Peking University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012027987
Aktenzeichen: EP11821016
Anmeldetag: 8. April 2011
Veröffentlichung: 8. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C22/05C23C22/73H01L21/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Peking University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Peking University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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