Verfahren und Vorrichtungen zur Positionsbestimmung

WO2012028389 Art A1 8. März 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012028389
Aktenzeichen: EP11748316
Anmeldetag: 26. Juli 2011
Veröffentlichung: 8. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01B21/04G01B5/008

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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