Wafer tray, semiconductor wafer testing apparatus, and semiconductor wafer testing method
WO2012029130
Art A1
8. März 2012
Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012029130
- Aktenzeichen
- EP10856682
- Anmeldetag
- 31. August 2010
- Veröffentlichung
- 8. März 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66H01L21/683
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Advantest Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
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