Management apparatus for semiconductor manufacturing equipment, and computer program

WO2012029220 Art A1 8. März 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012029220
Aktenzeichen: EP11821245
Anmeldetag: 15. Juni 2011
Veröffentlichung: 8. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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