Inspection equipment and inspection method

WO2012029223 Art A1 8. März 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012029223
Aktenzeichen
EP11821248
Anmeldetag
17. Juni 2011
Veröffentlichung
8. März 2012
Rechtsraum
WO
IPC
G01N27/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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