Composition Having Acid-Labile Dissolution Inhibiting Group

WO2012032790 Art A1 15. März 2012

Anmelder: Idemitsu Kosan Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012032790
Aktenzeichen: EP11823269
Anmeldetag: 9. September 2011
Veröffentlichung: 15. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004C07C69/76G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Idemitsu Kosan Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Idemitsu Kosan

Japanisches Energie- und Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Aktiv in Mineralölverarbeitung, petrochemischen Produkten, Schmierstoffen sowie Materialien für organische Leuchtdioden (OLED).

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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