Method of cutting out graph within specific time period

WO2012032831 Art A1 15. März 2012

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012032831
Aktenzeichen: EP11823310
Anmeldetag: 28. Juni 2011
Veröffentlichung: 15. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G05B23/02C23C14/24H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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