Chemical substance detection sensor and chemical substance detection method
Anmelder: Tokyo Electron Limited, The University of Tokyo 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012033140
- Aktenzeichen
- EP11823614
- Anmeldetag
- 7. September 2011
- Veröffentlichung
- 15. März 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- A01K67/033C07K14/705C12N15/09G01N33/48G01N33/497
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tokyo Electron Limited
The University of Tokyo - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.
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