Chemical substance detection sensor and chemical substance detection method

WO2012033140 Art A1 15. März 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited, The University of Tokyo 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012033140
Aktenzeichen
EP11823614
Anmeldetag
7. September 2011
Veröffentlichung
15. März 2012
Rechtsraum
WO
IPC
A01K67/033C07K14/705C12N15/09G01N33/48G01N33/497
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Tokyo Electron Limited
The University of Tokyo
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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