Process of forming an air gap in a microelectromechanical system device using a liner material

WO2012033645 Art A1 15. März 2012

Anmelder: Qualcomm Mems Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012033645
Aktenzeichen: EP11750063
Anmeldetag: 25. August 2011
Veröffentlichung: 15. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: B81C1/00G02B26/06G02B26/08G02B26/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Qualcomm Mems Technologies, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Qualcomm MEMS Technologies

Qualcomm MEMS Technologies war eine Konzerngesellschaft von Qualcomm, die reflektive MEMS-Displaytechnik (Mirasol) für mobile Endgeräte entwickelte. Das Portfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Anzeige- und Signaltechnik, ergänzt durch Halbleitertechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis 2016 belegt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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