Magnetic field generating device, magnetron cathode, and sputter device

WO2012035603 Art A1 22. März 2012

Anmelder: Shincron Co., Ltd., University of Science and Technology of China 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012035603
Aktenzeichen: EP10857237
Anmeldetag: 13. September 2010
Veröffentlichung: 22. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/35C03C17/245C23C14/34

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firmen: Shincron Co., Ltd.
University of Science and Technology of China
Land: 🇯🇵 Japan

🇨🇳 University of Science and Technology of China

Die University of Science and Technology of China (USTC) ist eine chinesische Forschungsuniversität mit Sitz in Hefei. Das Patentportfolio verteilt sich breit auf Software und Datenverarbeitung, Nachrichtentechnik, Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiter- und Medizintechnik. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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