Carbamoyloxyadamantane derivative, polymer compound, and photoresist composition

WO2012035950 Art A1 22. März 2012

Anmelder: Kuraray Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012035950
Aktenzeichen: EP11824958
Anmeldetag: 25. August 2011
Veröffentlichung: 22. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C08F20/36C07C271/34G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kuraray Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kuraray

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, bekannt für Spezialpolymere, synthetische Fasern (Vinylon) und Kunstharze. Gegründet 1926, beliefert unter anderem die Textil-, Bau- und Automobilindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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