Substrate processing system and display method of substrate processing device

WO2012035965 Art A1 22. März 2012

Anmelder: Hitachi Kokusai Electric Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012035965
Aktenzeichen: EP11824973
Anmeldetag: 29. August 2011
Veröffentlichung: 22. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Kokusai Electric Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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