Wafer storing device, and wafer cassette storage case

WO2012036206 Art A1 22. März 2012

Anmelder: Fuji Electric Co. Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012036206
Aktenzeichen: EP11825206
Anmeldetag: 14. September 2011
Veröffentlichung: 22. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/673B65D77/04B65D85/86

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fuji Electric Co. Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fuji Electric

Japanischer Elektrotechnikkonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Leistungshalbleiter, Energieerzeugungsanlagen und industrielle Automatisierungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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