Vapor deposition method of silicon-based nanoparticle thin film, silicon-based nanoparticle thin film, and a vapor deposition device of silicon-based nanoparticle thin film

WO2012036346 Art A1 22. März 2012

Anmelder: Korea Institute of Energy Research 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012036346
Aktenzeichen: EP10857331
Anmeldetag: 19. November 2010
Veröffentlichung: 22. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/18H01L31/042H01L31/0216H01L21/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Institute of Energy Research
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Energy Research

Das Korea Institute of Energy Research (KIER) ist eine staatlich finanzierte südkoreanische Forschungseinrichtung für Energietechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Halbleiter- und elektrische Bauelemente, ergänzt um anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen reichen bis 2004 zurück.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von