Spray deposition module for an in-line processing system

WO2012036908 Art A2 22. März 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012036908
Aktenzeichen: EP11825669
Anmeldetag: 31. August 2011
Veröffentlichung: 22. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01M4/04B05C5/02B05D1/26H01M10/04H01M10/052

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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