Monitoring, Detecting And Quantifying Chemical Compounds in A Gas Sample Stream

WO2012036970 Art A1 22. März 2012

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012036970
Aktenzeichen: EP11758054
Anmeldetag: 8. September 2011
Veröffentlichung: 22. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/35

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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