Simulation platform for integrated circuit manufacturing equipment

WO2012037796 Art A1 29. März 2012

Anmelder: Tsinghua University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012037796
Aktenzeichen
EP11826323
Anmeldetag
24. Februar 2011
Veröffentlichung
29. März 2012
Rechtsraum
WO
IPC
G06F17/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tsinghua University
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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