Method for manufacturing organic el element, film forming apparatus, and organic el element

WO2012039310 Art A1 29. März 2012

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012039310
Aktenzeichen: EP11826756
Anmeldetag: 12. September 2011
Veröffentlichung: 29. März 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H05B33/04H01L51/50H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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