Systems for aligning an optical element and method therefor

WO2012041462 Art A2 5. April 2012

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012041462
Aktenzeichen: EP11794012
Anmeldetag: 23. September 2011
Veröffentlichung: 5. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: B25J9/16

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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