Resist pattern forming method, and method for processing base plate using same

WO2012042862 Art A1 5. April 2012

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012042862
Aktenzeichen
EP11828428
Anmeldetag
28. September 2011
Veröffentlichung
5. April 2012
Rechtsraum
WO
IPC
B29C59/02G11B5/84H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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