Photoelectric conversion element, defect inspecting apparatus, and defect inspecting method

WO2012043040 Art A1 5. April 2012

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012043040
Aktenzeichen
EP11828601
Anmeldetag
26. Juli 2011
Veröffentlichung
5. April 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H04N5/372G01B11/30G01N21/88H04N5/367H04N5/378
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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