Projection optical assembly, projection optical assembly adjustment method, exposure device, exposure method, and device manufacturing method

WO2012043130 Art A1 5. April 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012043130
Aktenzeichen: EP11828691
Anmeldetag: 1. September 2011
Veröffentlichung: 5. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G02B13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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