Etching method, and device

WO2012043383 Art A1 5. April 2012

Anmelder: Sekisui Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012043383
Aktenzeichen
EP11828940
Anmeldetag
22. September 2011
Veröffentlichung
5. April 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/3065H05H1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sekisui Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sekisui Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Osaka, tätig in den Bereichen Hochleistungskunststoffe, Bauelemente und elektronische Materialien.

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