Method for driving spatial light modulator, method for forming pattern for exposure, exposure method, and exposure apparatus

WO2012043497 Art A1 5. April 2012

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012043497
Aktenzeichen: EP11829051
Anmeldetag: 26. September 2011
Veröffentlichung: 5. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G02B26/06G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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