Mask blank, method for producing same, and transfer mask

WO2012043695 Art A1 5. April 2012

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012043695
Aktenzeichen: EP11829248
Anmeldetag: 29. September 2011
Veröffentlichung: 5. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/54G03F1/68H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

1.653 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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