Optical lithography using graphene contrast enhancement layer

WO2012044286 Art A1 5. April 2012

Anmelder: Empire Technology Development LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012044286
Aktenzeichen: EP10857980
Anmeldetag: 29. September 2010
Veröffentlichung: 5. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Empire Technology Development LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Empire Technology Development

US-amerikanisches Unternehmen mit Sitz in Delaware, das als Patentverwertungsgesellschaft Erfindungen aus verschiedenen Technologiebereichen managt und lizenziert.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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