Eccentric rotation device

WO2012046404 Art A1 12. April 2012

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012046404
Aktenzeichen: EP11830338
Anmeldetag: 26. September 2011
Veröffentlichung: 12. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: F04B39/02F04C18/02F04C18/344F04C29/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von

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