Eccentric rotation drive device

WO2012046405 Art A1 12. April 2012

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012046405
Aktenzeichen
EP11830339
Anmeldetag
26. September 2011
Veröffentlichung
12. April 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H02K7/075H02K5/128H02K5/16H02K7/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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