Laser lift-off method and laser lift-off device

WO2012046478 Art A1 12. April 2012

Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012046478
Aktenzeichen
EP11830412
Anmeldetag
27. Juni 2011
Veröffentlichung
12. April 2012
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/268H01L33/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ushio Denki Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ushio Inc.

Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.

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