Substrate processing system with multiple processing devices deployed in shared ambient emvironment and associated methods

WO2012047531 Art A2 12. April 2012

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012047531
Aktenzeichen: EP11831209
Anmeldetag: 22. September 2011
Veröffentlichung: 12. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/302C23C16/00H01L21/306B05B13/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM Research Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von