Chemical mechanical planarization processes for fabrication of finfet devices

WO2012047770 Art A2 12. April 2012

Anmelder: International Business Machines Corporation, JSR Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012047770
Aktenzeichen: EP11831377
Anmeldetag: 3. Oktober 2011
Veröffentlichung: 12. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304H01L21/336H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: International Business Machines Corporation
JSR Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

9.753 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

1.781 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von