Three-dimensional vertical interconnecting structure and manufacturing method thereof

WO2012048516 Art A1 19. April 2012

Anmelder: Peking University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012048516
Aktenzeichen: EP11831913
Anmeldetag: 5. August 2011
Veröffentlichung: 19. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L23/52H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Peking University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Peking University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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