Method for formation of aluminum film

WO2012050058 Art A1 19. April 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012050058
Aktenzeichen: EP11832493
Anmeldetag: 7. Oktober 2011
Veröffentlichung: 19. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C18/10C23C18/02H01L21/28H01L21/288

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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