Water treatment device and water treatment method

WO2012050215 Art A1 19. April 2012

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012050215
Aktenzeichen: EP11832641
Anmeldetag: 7. Oktober 2011
Veröffentlichung: 19. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C02F1/58B01J3/00B01J3/02C02F1/74

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik

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