Method of and apparatus for multiple-channel pulse gas delivery system

WO2012050866 Art A1 19. April 2012

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012050866
Aktenzeichen: EP11773588
Anmeldetag: 28. September 2011
Veröffentlichung: 19. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/52C23C16/455C23C16/448G05D7/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von