Composition for and method of suppressing titanium nitride corrosion

WO2012051380 Art A2 19. April 2012

Anmelder: Advanced Technology Materials, Inc., International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012051380
Aktenzeichen: EP11833387
Anmeldetag: 13. Oktober 2011
Veröffentlichung: 19. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: C11D7/32H01L21/304H01L21/027G03F7/42C09K13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Advanced Technology Materials, Inc.
International Business Machines Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Advanced Technology Materials

Der Anmelder ist ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und Materialien für die Halbleiterindustrie, bekannt als ATMI, inzwischen Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und Elektrobauelemente sowie auf Verfahrens- und Trenntechnik, Metallurgie und Verpackungstechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

458 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 IBM

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.

12.055 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von