Parylene-c as a piezoelectric material and method to make it

WO2012051456 Art A2 19. April 2012

Anmelder: California Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012051456
Aktenzeichen: EP11833435
Anmeldetag: 13. Oktober 2011
Veröffentlichung: 19. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: California Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 California Institute of Technology

Private Forschungsuniversität in Pasadena, Kalifornien (USA), mit Schwerpunkt auf Naturwissenschaften und Ingenieurwesen. Sie betreibt unter anderem das Jet Propulsion Laboratory und zählt zu den weltweit führenden Technikhochschulen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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