Gate dielectric material of high dielectric constant and method for preparing same

WO2012051799 Art A1 26. April 2012

Anmelder: Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2012051799
Aktenzeichen
EP11833705
Anmeldetag
17. Oktober 2011
Veröffentlichung
26. April 2012
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/08C23C14/58C23C16/40C23C16/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences

Chinesisches Forschungsinstitut der Chinese Academy of Sciences mit Schwerpunkt auf Mikroelektronik und Halbleitertechnologie. Patente betreffen Chipdesign und Halbleiterfertigung.

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