Method of measuring viscoelasticity coefficients of material and device for measuring viscoelasticity coefficients of material
WO2012053189
Art A1
26. April 2012
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2012053189
- Aktenzeichen
- EP11834035
- Anmeldetag
- 18. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 26. April 2012
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N5/02G01N11/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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