Method for forming alumina film

WO2012053433 Art A1 26. April 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2012053433
Aktenzeichen: EP11834273
Anmeldetag: 14. Oktober 2011
Veröffentlichung: 26. April 2012
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/316C01F7/30C07F5/06H01L21/8242H01L27/108

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Organische Chemie

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